用于小型加工件微小尺寸的测量与表面质量观测。1.目镜:10X双目镜筒;2.物镜:3X,10X,20X,50X;3.轴数:3轴; 4.长度基准:线性编码器(高精度光栅尺);

用于各种加工件轮廓的检测及小型零件复杂形面的形状测绘1.X轴指示精度:±(1+0.02L)µm,L为测量长度(mm);2.Z1轴指示精度:±(2+∣0.04H∣)µm,H为测量高度(mm);